DRK8090 ඡායාරූප විද්‍යුත් පැතිකඩ

මෙම උපකරණය ස්පර්ශ නොවන, දෘශ්‍ය අවධි-මාරු කිරීමේ අන්තර් ෆෙරෝමිතික මිනුම් ක්‍රමය භාවිතා කරයි, මිනුම් අතරතුර වැඩ කොටසෙහි මතුපිටට හානි නොකරයි, විවිධ වැඩ කොටස්වල මතුපිට ක්ෂුද්‍ර භූ විෂමතාවයේ ත්‍රිමාන ග්‍රැෆික්ස් ඉක්මනින් මැනිය හැකි අතර මිනුම් විශ්ලේෂණය කර ගණනය කළ හැකිය. ප්රතිඵල.

නිෂ්පාදනය විස්තරය
විශේෂාංග: විවිධ මිනුම් කුට්ටි සහ දෘශ්‍ය කොටස්වල මතුපිට රළුබව මැනීම සඳහා සුදුසු ය; පාලකයාගේ සහ ඩයල් එකේ රෙටිකල් ගැඹුර; ග්රේටිං වලක් ව්යුහයේ ආලේපනයේ ඝණකම සහ ආලේපන මායිමේ ව්යුහය රූප විද්යාව; චුම්බක (දෘශ්ය) තැටියේ මතුපිට සහ චුම්බක හිස ව්යුහය මැනීම; සිලිකන් වේෆර් මතුපිට රළුබව සහ රටා ව්යුහය මැනීම, ආදිය.
උපකරණයේ ඉහළ මිනුම් නිරවද්‍යතාවය හේතුවෙන්, එය ස්පර්ශ නොවන සහ ත්‍රිමාණ මිනුම්වල ලක්ෂණ ඇති අතර, පරිගණක පාලනය සහ වේගවත් විශ්ලේෂණය සහ මිනුම් ප්‍රතිඵල ගණනය කිරීම අනුගමනය කරයි. මෙම උපකරණය සියලුම මට්ටමේ පරීක්ෂණ සහ මිනුම් පර්යේෂණ ඒකක, කාර්මික සහ පතල් ව්‍යවසාය මිනුම් කාමර, නිරවද්‍ය සැකසුම් වැඩමුළු සඳහා සුදුසු වන අතර උසස් අධ්‍යාපන ආයතන සහ විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ ආයතන සඳහාද සුදුසු වේ.
ප්රධාන තාක්ෂණික පරාමිතීන්
මතුපිට අන්වීක්ෂීය අසමානතා ගැඹුරේ පරාසය මැනීම
අඛණ්ඩ පෘෂ්ඨයක් මත, යාබද පික්සල දෙකක් අතර 1/4 තරංග ආයාමයට වඩා උස හදිසි වෙනසක් නොමැති විට: 1000-1nm
යාබද පික්සල දෙකක් අතර තරංග ආයාමයෙන් 1/4 ට වඩා උස විකෘතියක් ඇති විට: 130-1nm
මැනීමේ පුනරාවර්තනය: δRa ≤0.5nm
වෛෂයික කාච විශාලනය: 40X
සංඛ්‍යාත්මක විවරය: Φ 65
වැඩ කරන දුර: 0.5mm
දෘශ්‍ය උපකරණ ක්ෂේත්‍රය: Φ0.25mm
ඡායාරූපය: 0.13×0.13mm
උපකරණ විශාලනය දෘශ්‍ය: 500×
ඡායාරූපය (පරිගණක තිරය මගින් නිරීක්ෂණය කරන ලදී)-2500×
ග්‍රාහක මිනුම් අරාව: 1000X1000
පික්සල ප්‍රමාණය: 5.2×5.2µm
මිනුම් කාලය නියැදීම (ස්කෑන් කිරීම) කාලය: 1S
උපකරණ සම්මත දර්පණ පරාවර්තනය (ඉහළ): ～50%
පරාවර්තනය (අඩු): ～4%
ආලෝක ප්රභවය: තාපදීප්ත ලාම්පුව 6V 5W
හරිත මැදිහත්වීම් පෙරහන තරංග ආයාමය: λ≒530nm
අඩක් පළල λ≒10nm
ප්රධාන අන්වීක්ෂ සෝපානය: 110 මි.මී
මේස සෝපානය: 5 මි.මී
X සහ Y දිශාවට චලනය වන පරාසය: ～10 මි.මී
වැඩ වගුවේ භ්රමණ පරාසය: 360°
වැඩ කරන මේසයේ ඇල පරාසය: ±6°
පරිගණක පද්ධතිය: P4, 2.8G හෝ ඊට වැඩි, 1G හෝ ඊට වැඩි මතකයක් සහිත අඟල් 17 පැතලි තිර සංදර්ශකය